晶圓定位傳感器 M-DW1

以往使用激光的激光式定位傳感器，激光會從加載口內側穿過FOUP直射操作人員，十分危險。
M-DW1成功使用LED光源。確保操作人員安全。

M-DW1以反射光的位置來檢測，不管反射光量的多少都能檢測出玻璃晶圓。

利用反射光量檢測時，反射光量和晶圓的邊緣形狀會影響檢測結果。M-DW1的受光部使用2段受光元件，通過反射光位置而非反射光量進行檢測。因此，受晶圓厚度和反射光量的影響較小。

傳感器可以從正前方、右側、左側、下方四個方向引出電纜�？筛鶕�傳感器的設置情況靈活調節。

尺寸為寬度80.6mm×厚度18.3mm×進深50mm，質量約為75g的小巧、輕盈型。